云际芯光推出高性能压电MEMS超声换能器 珠海金湾6英寸产线自主流片

01、产品破局：ScAlN薄膜重构超声感知架构

据电子工程专辑消息，云际芯光近期推出高性能压电MEMS超声换能器（PMUT），采用先进的掺钪氮化铝（ScAlN）薄膜工艺，在硅基晶圆上完成批量加工，实现微型化、低功耗、高信噪比、高一致性的新一代声学探测与感知芯片方案。

该PMUT采用压电薄膜+悬空微结构一体化MEMS设计，支持单个器件及高密度多阵元集成。相比传统超声探头，芯片尺寸大幅压缩、轻薄平整，支持标准贴片封装，可深度嵌入消费电子、智能穿戴、微型传感、工业精密设备等受限空间。

器件工作时呈现规则弯曲振动模态，振膜中心能量集中、杂散振动与寄生谐振极低，输出超声波束集中、指向性优异，从结构层面保障测距、成像的高精度与高稳定性。

02、性能对比：PMUT的双重优势

相较传统压电陶瓷超声器件，PMUT解决了体积大、功耗高、响应慢、一致性差且难以与电路系统集成等痛点，适配终端产品小型化趋势。

相较电容式CMUT方案，PMUT无需高压偏置、驱动简单、功耗更低、可靠性更高，批量生产时同批次器件一致性更好，方便与后端电路做异构集成。

新产品落地后，便携超声探头、可穿戴监测传感器、工业微小缺陷检测设备等微型超声感知硬件可以做得更小，面向医疗、工业、消费电子等多场景提供探测方案。

03、产线底座：珠海6英寸MEMS自主制造

云际芯光是MEMS芯片设计、制造与微系统解决方案的国家高新技术企业，设有天津研发中心和珠海金湾生产基地。

公司全资子公司珠海金石微电子有限公司在珠海自主建有一条6英寸MEMS芯片生产线，具备光刻、薄膜沉积、刻蚀、键合等全套MEMS制造能力，新产品可依托自有产线批量流片，不必完全依赖海外代工。

云际芯光是国内首家实现SMR滤波芯片自主量产的企业、国内第三家高基频石英晶振制造企业，也是国内领先的PMUT传感器和高精度压力传感器研发企业。国产PMUT器件走向成熟，有助于减少国内微型超声传感器对海外器件的依赖。

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